Generator čiste pare je oprema, ki uporablja vodo za vbrizgavanje ali prečiščeno vodo za proizvodnjo čiste pare. Glavni del je rezervoar za vodo za čiščenje ravni. Rezervoar segreva deionizirano vodo s paro iz kotla za ustvarjanje pare visoke čistosti. Predgrelnik in uparjalnik rezervoarja uporabljata intenzivno brezšivno cev iz nerjavečega jekla. Poleg tega je mogoče s prilagajanjem izhodnega ventila pridobiti paro visoke čistosti z različnimi protitlaki in pretoki. Generator je uporaben za sterilizacijo in lahko učinkovito prepreči sekundarno onesnaženje, ki je posledica kopičenja težkih kovin, vira toplote in drugih nečistoč.